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Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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產(chǎn)品型號(hào)pfeiffer普發(fā)

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蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

類型：無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號(hào)：APA 302描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
用于無(wú)菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

在潔凈室環(huán)境下，APA 302 是用于芯片制造的在線監(jiān)測(cè)工具。這臺(tái)革新性設(shè)備可以測(cè)量 FOUP 和周圍環(huán)境中的空氣分子污染物（簡(jiǎn)稱 AMC）。該測(cè)量實(shí)時(shí)發(fā)生，在 ppbv 范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。

有效的污染監(jiān)測(cè)
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時(shí)間內(nèi)，在 FOUP 槽對(duì)槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì)在圖樣晶圓上生成晶體生長(zhǎng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對(duì) AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測(cè)、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測(cè)量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒(méi)有 FOUP 時(shí)，APA 302 會(huì)監(jiān)控周圍的潔凈室環(huán)境。

FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準(zhǔn)功能，它會(huì)在定期的時(shí)間間隔內(nèi)被激活。對(duì)于在 APA 中對(duì) AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)負(fù)載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間，污染的增加量能立刻被察覺(jué)到，且產(chǎn)量增加。

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